- 产品详情
机台基本规格:
设备尺寸 | 2000mm(L)×1750mm(W)×2200mm(H) |
真空室尺寸 | 850mm(L)×962mm(W)×860mm(H)(可按产能订制) |
垂直 / 水平 - 极板 | 根据产品尺寸和产能要求 制定 |
电极板 | 标准:610mm*1100mm |
RF 等离子发生器 & 网络匹配 | 额定功率:0-10KW(AE) |
过程温度控制 | 30-150℃恒定可控 |
0-1000ml/min-0-5000ml/min( 美国 MKS/ SEVEN STAR) | |
真空测量 | 0-10 TORR( 美国或日本) |
人机界面触摸屏 | 可根据中国区客户实际需求,中文界面 |
信号指示灯 | 3 色带警报 |
真空发生系统 | 干泵机组(台湾 HanBell 干式真空机组,PS902 螺杆机组) |
* 设备设计及规格可进行调整,以便提高设备性能。