简介及特点
本设备根据水平式真空等离子做全自动化设计，产品由自动上下料机构取放至料框内，再进入升降机内进行下一层产品的取放，最终将升降机内的料框全部取放完成后，输送车直接将升降机内的料框整车拉出，另一台输送车将等离子腔体内生产完成的产品料架整体拉出并移动到暂存位，待制产品的输送车将料架运输到等离子腔体前并将料架送入到等离子腔体内，等离子机台自动关门生产，输送车回暂存位，已制输送车将料架移动至升降机并将料架移动到升降机内，进行自动收放板动作。
产品特点
等离子采用全自动开关门
采用全自动上下料机构
全自动料架运输车，将产品料架从腔体到升降机之间运输
料架升降机，满足多层料框的自动升降
进出料自动感应，以防产品漏加工
采用PLC+工控机系统，实现全自动控制。
真空检测0-10 TORR(美国英福康)
适用多种不同尺寸产品
整套设备尺寸 | 8500mm(L)×2750mm(W)×2650mm(H) |
真空室尺寸 | 1132mm(L)×1250mm(W)×1350mm(H)（可按产能订制） |
水平电 极板 | 电极板16层，产品可放置15层 （可按产能订制） |
电极板 | 标准：1100mm*980mm |
RF 等离子发生器 & 网络匹配 | 额定功率：0-10KW(AE) |
过程温度控制 | 30-90℃恒定可控 |
气体流量控制器，扩展至 5 路气体 | 0-1000ml/min-0-5000ml/min( 美国 MKS/ SEVEN STAR) |
真空测量 | 0-10 TORR( 美国或日本） |
人机界面触摸屏 | 可根据中国区客户实际需求，中文界面 |
信号指示灯 | 3 色带警报 |
真空发生系统 | 干泵机组（台湾 HanBell 干式真空机组，） |
