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整套设备尺寸

8500mm(L)×2750mm(W)×2650mm(H)

真空室尺寸

1132mm(L)×1250mm(W)×1350mm(H)(可按产能订制)

水平 极板

电极板16层,产品可放置15 可按产能订制)

电极板

标准1100mm*980mm

RF 等离子发生器 & 网络匹配

额定功率:0-10KW(AE)

过程温度控制

30-90恒定可控

气体流量控制器,扩展至 5 路气体

0-1000ml/min-0-5000ml/min( 美国 MKS/ SEVEN STAR)

真空测量

0-10 TORR( 美国或日本)

人机界面触摸屏

可根据中国区客户实际需求,中文界面

信号指示灯

3 色带警报

真空发生系统

干泵机组(台湾 HanBell 干式真空机组


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