MINI LED 真空Plasma FLEX-PS-11L/13L

简介及特点

本设备是按照触摸屏行业mini LED产品清洁研发设计，产品由玻璃取放机械臂搬送至腔体电极上，电极上部有多条产品支撑，机械臂进入腔体到位后下降，产品被支撑条托住，机械臂抽出，产品依次放置，共计可放置10层产品；采用自动升降门的结构，节省开门空间，高度依据机械臂标准作业高度设计，最大限度的提升机械臂的作业范围，此设备采用PLC+工控机系统，实现全自动控制。

产品特点

采用全自动开关门

支撑条固定在电极上，节省空间

机械臂全自动上下料

产品尺寸：1050mm(L)*1600mm(W)*5mm(H)

进出料自动感应，以防产品漏加工

采用PLC+工控机系统，实现全自动控制。

真空检测0-10 TORR(美国英福康)

产品详情

设备尺寸	1850mm(L)×1850mm(W)×2780mm(H)
真空室尺寸	800mm(L)×1100mm(W)×1350mm(H)（可按产能订制）
水平电极板	电极板11层/13层，产品可放置10层/12层
电极板	标准：780mm*900mm
RF 等离子发生器 & 网络匹配	额定功率：0-10KW(AE)
过程温度控制	30-90℃恒定可控
气体流量控制器，扩展至 5 路气体	0-1000ml/min-0-5000ml/min( 美国 MKS/ SEVEN STAR)
真空测量	0-10 TORR( 美国或日本）
人机界面触摸屏	可根据中国区客户实际需求，中文界面
信号指示灯	3 色带警报
真空发生系统	干泵机组（台湾 HanBell 干式真空机组，）

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MINI LED 真空Plasma FLEX-PS-11L/13L