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设备尺寸


1820mm(L)×1300mm(W)×2050mm(H)


真空室尺寸


490mm(L)×490mm(W)×242mm(H)


极板


440(D) mm * 420(W)mm


RF 等离子发生器 & 网络匹配


额定功率:0-10KW(AE)


过程温度控制


30-70℃恒定可控


气体流量控制器,扩展至 5 路气体


0-100ml/minSEVEN STAR)


真空测量


0-10 TORR( 美国或日本)


人机界面触摸屏


工业一体机触摸屏


信号指示灯


四色灯警报


真空发生系统


干泵机组


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