- 产品详情
设备尺寸 | 1820mm(L)×1300mm(W)×2050mm(H) |
真空室尺寸 | 490mm(L)×490mm(W)×242mm(H) |
电极板 | 440(D) mm * 420(W)mm |
RF 等离子发生器 & 网络匹配 | 额定功率:0-10KW(AE) |
过程温度控制 | 30-70℃恒定可控 |
气体流量控制器,扩展至 5 路气体 | 0-100ml/min(SEVEN STAR) |
真空测量 | 0-10 TORR( 美国或日本) |
人机界面触摸屏 | 工业一体机触摸屏 |
信号指示灯 | 四色灯警报 |
真空发生系统 | 干泵机组 |